• 氣液混合物汽化方法確保穩(wěn)定地汽化高沸點(diǎn)液體
• 緊湊設(shè)計(jì)便于集成
• 汽化效率高于傳統(tǒng)汽化方法
• 產(chǎn)生更大流量
• 汽化溫度降低

測(cè)量技術(shù)

注入方式
以下是汽化液體源并將其輸送到處理室的主要步驟。
1. 測(cè)量液體源的流量，并通過(guò)閥門反饋和控制液體量。
2. 液體瞬間汽化。
3. 氣體被釋放，防止凝結(jié)成液態(tài)。

由于載氣在注入器內(nèi)部噴嘴前的壓力較高，因此可以獲得有效加熱。液體源和加熱的載氣在噴嘴前的氣液混合區(qū)混合在一起，當(dāng)混合物通過(guò)噴嘴時(shí)，壓力降低，混合物進(jìn)而汽化。